在活性炭吸附法凈化含有有機化合物廢氣時候，其流程通常包括如下部分。

1、預處理部分 ，預先出去進氣中的固體顆粒物及液滴，并降低進氣溫度。（如有必要）

2、吸附部分：通常采用2-3個固定床吸附器并聯或者串聯操作

3、吸附劑再生部分。*常用的是水蒸氣脫附法使活性炭再生。

4、溶劑回收部分，不溶于水的溶劑易于回收。水溶性溶劑需采用蒸餾法回收、對處理量小的水溶劑也可與水一起摻入煤炭中送鍋爐燒掉。

有機廢氣經過冷卻過降溫及除去固體顆粒后。凈風機進入吸附器。吸附后氣體排空。兩個并聯操作的吸附器，當其中一個吸附飽和時候將廢氣通入另一個吸附器進行吸附。飽和的吸附器則通入水蒸氣進行再生。脫附氣體進入冷凝器冷凝，冷凝液流入分流器，經一段時間分離出溶劑和水。